中微公司公告，全资子公司中微临港拟在临港新片区投资建设中微临港产业化基地（二期）项目，集研发、生产和销售于一体，聚焦刻蚀设备、量检测设备、薄膜沉积设备等优势产品，加快更多集成电路设备的开发，进一步拓展到泛半导体微观器件加工设备领域。该项目计划投资35亿元，拟选址于中国（上海）自由贸易试验区临港新片区管理委员会辖区内，中国（上海）自由贸易试验区临港新片区管理委员会将对中微临港及项目给予一定的支持。
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